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存在的问题
半导体行业常用到腐蚀性气体。这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示很强的腐蚀性，如HCI、HF、CIF3等。 酸性腐蚀性气体对人体是有害的。 人体长期置于酸性腐蚀性气体中,会导致皮肤以及呼吸道受到腐蚀,从而使人体受到伤害。  解决方案    空气净化系统 1. 评估环境，确定环境中的污染物种类和污染程度 2. 提供多种设备和介质，采用定制的污染控制方案保护环境免遭腐蚀的侵害 3. 持续监控环境 Learn more >   化学滤料 通过化学吸附法去除气态污染物，在吸附的瞬间，气态污染物被滤料吸附或捕获。与物理吸附不同，在化学吸附过程中，气态污染物与滤料发生化学反应，并生成无害的固体，这些固体仍被留在滤料内部。一旦气态污染物从环境中被去除，就不能再重新回到空气中，有效杜绝空气环境的二次污染。 Learn more > |