行业介绍


半导体是指常温下导电性能介于导体和绝缘体之间并且导电性可控的材料,而在我们的日常生活中提到的半导体基本是指半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域的应用。机房内的气态污染物会对服务器、硬盘和其他电子元器件造成腐蚀损坏,降低其可靠性,造成数据丢失或系统意外宕机。主要气态污染物包括活性硫化物(H2S),硫氧化物(SO2,SO3),氮氧化物(NOx),无机氯化物(Cl2,ClO2,HCl),氟化氢(HF),胺与系出物(NH3),光催化学物(O3),强氧化剂等。

VOCs治理
活性炭箱吸附:经过喷淋酸碱中和吸收洗涤和除雾处理后,部分气体已溶于水或被吸收液中和吸收,未完全处理的气体再进入活性炭吸附装置继续净化。

RTO:蓄热式热力焚化炉,废气首先通过蓄热体加热到接近热氧化温度,而后进入燃烧室进行热氧化,氧化后的气体温度升高,有机物基本上转化成二氧化碳和水。

RCO:蓄热式催化燃烧法,催化剂对VOC分子的吸附,然后催化氧化降低反应的活化能。借助催化剂可使有机废气在较低起燃温度下发生无氧反应,分解成二氧化碳和水放出大量热。
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腐蚀性气体净化
机组内部多种干式化学过滤材料是空气净化的核心。

通过评估环境确定环境中的污染物种类和污染程度。

采用定制的污染控制方案,提供多种设备和介质,保护受控环境免遭腐蚀的侵害。

提供实时的环境监控,持续监控环境,确保环境维持在G1等级(轻微)。
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